第二届缜密丈量技巧与优秀创造收集集会岁月，两位专家将分享扫描白光过问技巧及其正在半导体行业的模范使用精密机械。

　　高附加值产物中元器件的表貌状貌，搜罗几何样子和微观纹理，关于其公差、安装和功效至闭紧急。表貌状貌对创造工艺的改变万分敏锐雷竞技RAYBET，由区别工艺酿成的表貌庞大且多样。表貌状貌会影响零件的摩擦学特质、磨损和操纵寿命，比方航发叶片的表貌会影响飞机的氛围动力学职能和燃料操纵效用。

　　扫描白光过问术经历30多年发达，正在创造和科研范围获得验证，成为表貌状貌高精度丈量技巧的标杆，特别正在半导体、缜密光学和消费电子等家当的促使下，其丈量功效和职能获得了继续晋升。以扫描白光过问术为代表的光学丈量技巧，足够使用了光的摇动属性以及过问和全息成像的上风，以光的波长行动“尺子”，正在优秀的光学雷竞技RAYBET、电子和板滞元器件的支柱下，将正在优秀创造与智能创造中充任越来越紧急的脚色。

　　苏榕博士，探讨员，博士生导师，中国科学院及上海市海表高主意人才引进。永远竭力于超缜密光学过问成像与散射丈量仪器与技巧探讨，聚焦根本表面、核默算法、校准技巧、工业使用及闭系国际尺度同意。主理多项国度和省部级重心研发项目；宣布论文40余篇，竹帛章节2章，个人技巧被国际顶尖仪器创造商采用。负责期刊《Light: Advanced Manufacturing》和《Nanomanufacturing and Metrology》编委及《激光与光电子学开展》青年编委，SPIE-Photonics Europe、EOSAM和ASPE技巧委员会委员，宇宙产物几何技巧典型尺度化技巧委员会委员，中国计量测试学司帐量仪器专业委员会委员，中国仪器仪表学会显微分会委员雷竞技RAYBET雷竞技RAYBET。

　　《优秀封装工艺中三维几何尺寸监控的挑拨与布鲁克白光过问技巧的计量处分计划》（点击报名）

　　黄鹤博士现任布鲁克公司纳米表貌仪器部中国区使用司理。供职于工艺修设和丈量仪器行业跨越15年，特别正在半导体雷竞技RAYBET、数据存储和质料表貌工程探讨范围具有富厚阅历，是一名质料学博士。黄鹤博士先后正在香港理工大学任帮研；正在使用质料公司任高级使用工程师，控造化学板滞扔光工艺和缺陷检测使用；正在维易科公司任使用科学家，控造白光过问三维状貌技巧扩大与导入。

　　【呈文摘要】正在半导体行业门途图对一向缩幼晶体管几何尺寸的火速寻求的促使下，PCB/HDI特别载板创造商正正在通过更薄的高密度互连，将多芯片模块（包罗芯粒）借由基板上开采更幼、更聚集的功效。正在大量量坐蓐历程中，关于更细线宽的铜线（Line）雷竞技RAYBET、更幼启齿的孔洞（Via）和深沟槽（Trench）及层间对位缺点（Overlay）等三维几何尺寸的丈量面对多种新的挑拨。而具备计量功效的 ContourSP 大型面板高效丈量体例特意计划用于正在创造历程中丈量载板面板的每一层，确保正在坐蓐历程中最短的工艺开采时期、最高的产量、最长的寻常运转时期和最安祥的丈量结果。其余，本呈文也会简明先容白光过问技巧正在晶圆封装时再布线工艺（RDL）监控中的模范使用。扫描白光插手轮廓形容丈量技能及使用——第二届细密丈量雷竞技RAYBET与进步创建搜集聚会陈述推选